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서울공대 이야기

김영준 삼성전자 반도체 연구소

2011.11.29 06:29

lee496 조회 수:5765

김영준- 학부, 대학원에서 금속 및 재료공학을 전공한 후, 소자공정 연구실에서 박사학위를 취득했다. 현재 삼성전자 반도체 연구소에서 반도체 공정 개발 업무를 수행 중이다.]

나는 학부와 대학원에서 금속 및 재료공학을 전공했다. 2000년에는 삼성전자 반도체 사업부에 입사해 반도체 공정 개발 업무, 그 중에서도 화학적·기계적 연마(Chemical Mechanical Polishing: CMP)공정을 개발했다. 이때 여러 가지 문제를 해결하면서 좀 더 체계적인 접근법과 이론적, 학문적 이해의 필요성을 절실히 느꼈다. 그러던 중 회사의 학술 연수 대상 선발에 뽑혔다. 서울대 소자공정연구실은 반도체 연구분야에서 이름이 나 있었고 회사에서 연구하는 분야와도 일치해 그곳에 지원했다. 그리고 2007년부터 4년간 박사 과정을 이수하고 학위를 취득했다. 소자공정 연구실에서는 전기화학적인 접근을 기반으로, 반도체 소자를 제작할 때 사용하는 구리 배선 일관 공정, 즉 전해 도금·무전해 도금 및 화학적·기계적 연마 공정과 연료 전지의 소형화, 촉매 개발 분야에 대해 연구한다. 최근에는 소자를 집적화하기 때문에 공정의 난이도가 매우 높아졌다. 반도체 생산 현장에서 발생하는 여러 문제를 해결하기 위해서는 고품질의 전해 도금액과 구리 화학적·기계적 연마 슬러리 개발이 꼭 필요하다. 필자는 4년간의 소자공정 연구실 생활을 하면서 구리 화학적·기계적 연마 슬러리를 개발했다.

4년간의 소자공정 연구실 생활은 여러 가지 의미에서 유익했다. 다양한 과목을 수강하면서 직장생활에서 느꼈던 기초 지식에 대한 갈증을 해소했다. 또한 반도체 공정 개발 업무를 하면서 겪었던 여러 현상의 이론적 기반 및 기구에 대한 이해도가 높아졌다. 무엇보다도 약 7년간 떠나 있던 학교라는 공간에서 젊고 패기 있는 대학원생들과 함께했던 생활은 조금 나태했던 나 자신에게 신선한 자극을 줬다.

지금은 학위과정을 마치고 회사에 복귀해 반도체 공정 개발 업무를 하고 있다. 학술연수에서 얻었던 연구 성과와 반도체 현상에 대한 체계적 접근 방법 등은 회사 생활에 큰 도움이 되고 있다. 반도체 공정은 지난 10여 년처럼 향후에도 발전을 지속할 것이다. 바이오칩 개발 등 반도체 공정 응용처도 점차 확대될 것이다. 반도체 분야에 대한 관심 있는 후배들이라면 서울대 소자공정 연구실을 자신 있게 추천한다. 그간의 연구 성과를 비롯해 교수님의 열정, 학생들 간의 팀워크, 그리고 끈끈하게 이어지는 선후배간의 정이 강점이다. 소자공정 연구실의 성과는 앞으로가 더 클 것이며 그 중심에는 소자공정 연구실을 만들어갈 여러분이 있다. 멋진 후배들이 만들어갈 소자공정 연구실의 새로운 미래를 기대한다.

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