College Of Engineering
서울공대 이야기
서울대학교 노현준 연구원,
미국진공학회 학생 논문상 수상

-  반도체/디스플레이 제조 공정 무인-자동화에 필요한 요소 기술 개발

서울대 에너지시스템공학부 노현준 연구원(좌), 김곤호 지도교수(우)
▲ 서울대 에너지시스템공학부 노현준 연구원(좌), 김곤호 지도교수(우)
 
서울대 공대(학장 차국헌)는 에너지시스템공학부 노현준 연구원(지도교수 김곤호)이 제64회 미국진공학회 국제 심포지엄 및 전시회 2017(AVS 64th International Symposium & Exhibition 2017)에서 한국인 최초로 J.Coburn & H.Winters 학생논문상(John Coburn and Harold Winters Student Award)을 수상했다고 23일 밝혔다.
 
노 연구원의 수상 논문 ‘플라즈마 정보를 통한 다층 박막 증착 공정의 질화막 두께에 대한 가상계측기술’은 반도체 및 디스플레이 소자 제조 공정 환경의 변화를 실시간으로 진단하기 위한 플라즈마 정보 인자를 개발하고, 이를 가상 계측 모델의 핵심 인자로 활용하는 새로운 공정진단 방법을 제안했다.
 
이번 논문을 통해 노 연구원은 3D-VNAND를 제조하기 위한 실리콘 다층 박막 증착 공정에서 기존 가상계측기술에 비해 계측 정확도를 2배 이상 향상시킬 수 있음을 입증했다. 또한 플라즈마를 이용한 공정 진행 시 장비 벽면의 오염 상태를 실시간으로 모니터링하는 방법을 제시하여 플라즈마 공정진단이라는 새로운 연구분야를 개척했다.
 
해당 연구는 산업통상자원부(Ministry of Trade, Industry and Energy, MOTIE) 산업기술혁신사업, 국가핵융합연구소 플라즈마 빅테이터 ICT 융합기술연구사업, 한국연구재단 BK21 플러스(Brain Korea 21 plus)의 사업지원을 기반으로 이뤄졌다.
 
한편 미국진공학회(AVS) 국제 심포지엄 및 전시회는 저온 플라즈마의 산업적 응용 분야에서 세계 최고 수준의 학회로 인정받고 있다.
 
그 중 AVS의 플라즈마 과학/기술 분과(Plasma Science & Technology Division, PSTD)에서는 반도체 플라즈마 공정 및 플라즈마-표면 상호작용 분야에 선구자적 역할을 한 John Coburn과 Harold Winters의 업적에 경의를 표하며, 1994년부터 ‘John Coburn and Harold Winters Student Award’를 제정했다. Erwin Kessels(Eindhoven University of Technology), Jane Chang(UCLA) 교수 등 세계적 수준의 연구자들이 이 상을 수상한 바 있다.
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